Diferența cheie între PVD și CVD este că materialul de acoperire din PVD este sub formă solidă, în timp ce în CVD este sub formă gazoasă.
PVD și CVD sunt tehnici de acoperire, pe care le putem folosi pentru a depune pelicule subțiri pe diferite substraturi. Acoperirea substraturilor este importantă în multe ocazii. Acoperirea poate îmbunătăți funcționalitatea substratului; introduceți noi funcționalități pe substrat, protejați-le de forțe externe dăunătoare etc., deci acestea sunt tehnici importante. Deși ambele procese împărtășesc metodologii similare, există puține diferențe între PVD și CVD; prin urmare, ele sunt utile în diferite cazuri.