Diferența cheie între microanaliza și semi microanaliza este că microanaliza este utilizată pentru a analiza materialul cu o masă mai mică de 10 mg, în timp ce semi micro analiza este utilizată pentru a analiza materialul cu o masă de aproximativ 100-500 mg.
Analiza micro și semi-micro sunt două tipuri de analiză calitativă, care este analiza materialului pe baza proprietăților lor în loc de cantități. Microanaliza se referă la analiza materialului cu dimensiuni ale particulelor în micro-scară. Pentru microanalize pot fi utilizate diferite metode. Semi microanaliza, pe de altă parte, este o metodă dezvoltată de microanaliză.